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仪器详情
光刻机
仪器编号
2026001642
规格
生产厂家
四川鸿源鼎芯科技有限公司
型号
H19-44
制造国家
中国
分类号
放置地点
第26教学楼（停用）26-D-144
出厂日期
2025-12-24
购置日期
2026-03-31
入网日期
2026-04-08
主要规格及技术指标
1.工作方式：半自动；2.曝光面积：110×110mm；3.紫外光中心波长：365nm；4.曝光照度不均匀性：≤2%5.曝光强度：0～≥50mw/cm2可调6.对准精度：正面对位≤
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
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