主要规格及技术指标

Fischione NanoMill（型号1040）主要用于透射电镜样品制备，通过束斑为1μm汇聚氩离子束对 FIB样品进行表面减薄精修，从而获取度均一、无非晶层、无镓离子注入、无二次沉积的样品，供球差透射电镜观察使用。其同时通过配备的液氮冷台，能够去除制样过程中的热应力，防止样品发生卷边，制备厚度＜10nm超薄样品。

主要功能及特色

超低能量离子源
采用微束惰性气体离子束
制备无非晶层/无镓离子注入及超薄样品
采用氩离子束激发二次电子成像定位精度高
配备液氮冷台去除热损伤，精细修复样品

主要附件及配置

.1 功能：定点制备无非晶层透射电镜样品；
2.2 配备二次电子探头，可实现加工的同时进行高分辨观察，具备纳米级分辨率；
2.3 加工离子能量范围需包括：50eV ~ 2keV；
2.4 离子束束斑尺寸：≤1μm，可精确定位制备样品；
2.5 样品台倾转角度：-10度 ~ +30度，连续可调；
2.6 最大离子束流：≥1mA/cm2;
2.7 配备液氮冷台，温度控制范围-170℃~室温连续可调；
2.8 系统降温时间：≤20分钟；
2.9 样品冷却时间：≤5分钟，保证制样效率；
2.10 持续制冷时间：≥6小时；
2.11 真空系统：无油机械泵+分子泵两级泵系统；
2.12 系统基本真空：≤3.3x10-6Tor；
2.13 采用可编程软件控制，实时显示制样状态；
2.14 配备Load lock快速换样仓设计，换样时间≤10秒。