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仪器详情
电子束光刻机
仪器编号
2025010184
规格
生产厂家
北京金竟科技有限责任公司
型号
Pharos E310
制造国家
中国
分类号
放置地点
第49教学楼
出厂日期
2024-05-01
购置日期
2025-12-02
入网日期
2026-03-10
主要规格及技术指标
1.1 电子光学参数： 1.1.1 电子发射源：采用肖特基热场发射源，使用寿命不低于1500小时； 1.1.2 加速电压：200 eV – 30 keV； 1.1.3 电子束束流：10pA –
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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