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仪器详情
化学气相沉积
仪器编号
2025010355
规格
生产厂家
北京北方华创微电子装备有限公司
型号
Eris E120R
制造国家
中国
分类号
放置地点
第一阶梯教室(东)东阶梯
出厂日期
2024-12-02
购置日期
2025-12-04
入网日期
2026-03-10
主要规格及技术指标
1、 生长材料：单晶硅（衬底：单晶硅）、多晶硅（衬底：二氧化硅）；厚度5-60微米 2、 掺杂类型：P型（掺杂元素：硼）；掺杂浓度1017-1020/cm3 3、 支持选择性外延（单晶硅上生长单晶
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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