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无掩膜紫外光刻机
仪器编号
2025012150
规格
生产厂家
托托科技
型号
TTT-07-UVLitho-ACAMaster
制造国家
中国
分类号
放置地点
第51教学楼（停用）51-121
出厂日期
2025-11-21
购置日期
2025-12-25
入网日期
2026-03-10
主要规格及技术指标
1.*光刻精度：至少支持三个光刻镜头：光刻镜头1：最小线宽≤5 μm，工作距离≥30 mm光刻镜头2：最小线宽≤1 μm，工作距离≥9 mm光刻镜头3：最小线宽≤0.4 μm，工作距离
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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