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无掩膜紫外光刻机
仪器编号
2025009105
规格
长760 mm，宽650 mm，高670 mm
生产厂家
托托科技（苏州）有限公司
型号
TTT-07-UV Litho-ACA
制造国家
中国
分类号
放置地点
11教学楼S110
出厂日期
2026-01-14
购置日期
2026-01-14
入网日期
2026-01-14
主要规格及技术指标
1、6英寸大面积光刻。2、特征线宽1 μm
主要功能及特色
1、可实现单图光刻、多图光刻、阵列光刻。2、光刻图案设计灵活，所见即所得精准套刻。3、高稳定性，操作方便
主要附件及配置
1、电控箱；2、光刻软件；3、显示器；4、光学平台
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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