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仪器详情
薄膜沉积系统
仪器编号
2025009063
规格
生产厂家
北京北方华创微电子装备有限公司
型号
HORIC 04422
制造国家
中国
分类号
放置地点
卫津路校区第一阶梯教室(东)精仪学院微纳机电系统实验室东阶梯一楼东阶梯
出厂日期
2022-04-01
购置日期
2025-11-11
入网日期
2025-12-30
主要规格及技术指标
工艺：干氧+湿氧；兼容4&6英寸硅片；工艺温度大于600℃；工艺齐鲁配置：至少包括N2，O2以及水汽发生器；主要工艺指标要求：片内均匀性≤±1.5%，片间均匀性≤±2%及批间均匀性≤±2%（厚
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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