主要规格及技术指标

加速电压： 3kV-30kV连续可调，步进1kV，并有5kV/8kV/10kV/15kV/20kV固定档，快捷操作；电子枪：六硼化镧灯丝，使用寿命不低于1500小时；分辨率：3nm；放大倍数：50x-360,000x；SE探测器：二次电子探测器；BSE探测器：电动四分割背散射电子探测器，可自动伸缩，总活性面积达80mm2；样品仓：样品台：XY电动样品台；样品台行程：X=60mm、Y=55mm；最大样品尺寸：100mm*78mm*68.5mm（样品台可自由移动时）；能谱仪探测器：集成式，分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积30mm2，高分子超薄窗，无需液氮冷却，仅消耗电能。能量分辨率：Mn Ka优于129eV（@计数率50,000cps）；符合ISO 15632:2012标准。元素分析范围: B5～Cf98。定性分析：可自动标识谱峰，可进行谱重构。定量分析：具备基于实体标样生成的标样数据库，可以准确定量。电子图像最高分辨率达2048*2048像素；元素面分布图分辨率最高达1024*1024像素；可从面分布图上进行谱图重建。线扫描分析每条线可包含高达8192点，可从线扫描结果重建单点谱图。

主要功能及特色

二次电子，背散射电子探测器，能谱仪可点扫、线扫和面扫完成定性和定量分析

主要附件及配置

能谱仪