主要规格及技术指标

1. 离子源：氩离子；
2. 离子束能量：0.1-8.0 keV连续可调；
3. 离子束流密度峰值：可达10mA/cm2；
4. 减薄角度范围：+10°到-10°，每只离子枪可独立调节；
5. 样品台旋转：样品台可以旋转，转速1-6 rpm可调；
6. 样品台可以实现X和Y方向的移动；
7. 真空度：5×10-6 Torr；
8. 样品更换：样品更换时间1min，无需破减薄室真空；
9. 控制部分：彩色触摸屏，操作简单，能够完全控制所有参数，支持减薄程序的设定和储存；
10. 配备液氮冷台，可持续使用6-8小时。

主要功能及特色

1. 可进行块体材料透射电镜样品的常规平面样品和截面样品制备；
2. 离子束能量0.1-8.0 keV可调，低能范围的性能可减少样品表面因离子束轰击而产生的非晶区域；
3. 可用于聚焦离子束（FIB）样品的表面清扫；
4. 配备的液氮冷台消除热效应所产生的样品损伤，适合对温度敏感性样品的减薄，从而还原样品的真实结构以供透射电镜（TEM）分析研究。
5. 配备可调节样品台可对减薄样品进行精确定位。
6. 触摸操作屏幕简单易用，提高对减薄区域的精度控制和减薄过程的可重复性。

主要附件及配置

无