主要规格及技术指标

1.TEM晶格分辨率：50pm@300kV；
2.STEM点分辨率：53pm@300kV；96pm@80kV；
3.能谱仪（EDS）能量分辨率：136 eV；
4.EELS能量分辨率：0.35eV。

主要功能及特色

1. 可进行组织分析，拍摄明场像、暗场像、高分辨像，扫描透射高角环形暗场像；
2. 可进行选区电子衍射和会聚束衍射，分析微区晶体结构、样品厚度以及材料应变场；
3. 配有先进的十二极子球差矫正器(COSMO)，具有聚光镜和物镜球差校正功能，达到目前世界最高水平的空间分辨率；
4. 配有双探测器超级能谱仪(EDS)（探测面积316mm2），能够在任意样品倾角下实现快速高精度的EDS 分析；
5. 配有4K高分辨相机和能损谱系统，可进行元素成分和价态的谱学分析，可实现快速的能量过滤像EFTEM；
6. 配有三维重构成像系统，可实现纳米材料的三维成像；
7. 可在40kV下观察易损伤样品；

主要附件及配置

Clear view高分辨相机和1065能损谱系统