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仪器详情
RIE干法刻蚀机
仪器编号
2024016515
规格
生产厂家
SENTECH
型号
S1500
制造国家
德国
分类号
放置地点
卫津路校区卫津路校区第四教学楼精仪学院光子系统实验室4-1054-105
出厂日期
2023-09-01
购置日期
2024-12-20
入网日期
2024-12-26
主要规格及技术指标
无
主要功能及特色
1 用于光学芯片器件的加工，该设备可以刻蚀硅、氧化硅、氮化硅、金、铬、镍等多种材料，是将掩膜结构转移至芯片结构层的必须设备； 2 工艺气路需涵盖氟基气体和氯基气体等多种气路，以满足多材料体系的刻蚀。
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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