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仪器详情
高速非接触式光学自由曲面面形测量仪
仪器编号
2024016565
规格
生产厂家
马尔
型号
TWI 60 MFU 200
制造国家
德国
分类号
放置地点
卫津路校区卫津路校区第五教学楼精仪学院微纳制造实验室5-108五教108
出厂日期
2018-11-25
购置日期
2024-12-20
入网日期
2024-12-26
主要规格及技术指标
无
主要功能及特色
1）C 轴圆度误差：≤ (0.02+0.0004H) μm；使用光学测头进行3D测量：B (IRR) ≤ 100 nmR0 ± (0.0002 + R/50000) mm依照ISO 10110-5；等
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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