电子枪:肖特基场或同类型设计发射枪;二次电子像分辨率:≤2.5 nm (30 kV, 1×10-11 A, 工作距离11 mm);束斑尺寸:≤20 nm (10 kV, 1×10-8 A, 工作距离11 mm);空间分辨率:好于0.1 μm;加速电压:1~ 30 kV(步长:0.1 kV);束流范围:10-12~3×10-6 A;图像放大倍数:×40~×300,000。
分析元素:5B - 92U;谱仪道数: 5道波谱仪十块晶体;X射线出射角:40°。
金属和非金属材料的高分辨二次电子像、背散射电子像观察、定量面分布和相分析、实时能谱分析、能谱/波谱一体化分析、有标样和无标样定量分析方法等。
无
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