1.靶材:铜靶2.最小步长:0.0001°3.管电压: 40KV, 40mA。4.扫描角度及范围: 2θ为2°~140°,Phi为360°, Chi为-5°~95°。
1.物相分析和定量分析。2.薄膜厚度测定。3.掠射角衍射。4.残余应力测定。5.倒易空间图(RSM)。6.极图。
高平行度光束,发散度小于0.03度。具有全自动可变狭缝,配有高精度五轴尤拉环样品台及一维阵列探测器,可用于薄膜材料的结构及相关参数的表征。