.png){kind=icon}
仪器列表
仪器设备 >
精密仪器与光电子工程学院 >
仪器详情
双光子灰度对准光刻机
仪器编号
2024012459
规格
生产厂家
德国NANOSCRIBE GMBH & CO. KG
型号
Quantum X align
制造国家
德国
分类号
05080105
放置地点
卫津路校区综合实验楼精密测试技术及仪器全国重点实验室公共平台104
出厂日期
1970-01-01
购置日期
2024-09-29
入网日期
2024-10-08
主要规格及技术指标
型号：QuantumXalign三维对准精度:100nm(xy)/500nm(z)可加工加工表面粗糙度Ra≤10nm形状精度Sa≤200nm(ISO25178)细节尺度:100nm可实现的耦合损耗≤1
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
版权所有 © 天津大学 访问量: 18403974 系统开发商: 天津市基理科技股份有限公司