主要规格及技术指标

加速电压：300 KV，80KV，40KV
点分辨率：≤0.17 nm (@300 kV)，0.33(±0.02) nm(@80 kV)
晶格分辨率：FFT Spot50 pm (@300 kV)
STEM明场/暗场分辨率：≤53 pm (@300 kV)，≤96 pm(@80 kV)
信息分辨率：≤0.09nm (@300 kV)，≤0.12 nm(@80 kV)
能谱分辨率：≤133 eV (MnKα线)
数字化成像系统：4K* 4K像素

主要功能及特色

可进行原子级高分辨观察，同时配备了能谱仪和三维重构样品杆，可进行微区原子级高分辨成分分析和TEM、STEM和EDS三维重构以及EELS分析。

主要附件及配置

能谱仪，EELS，三维重构