分辨率1.0nm,能谱HORIBA EX350
配备新型透镜系统,提供了高分辨模式,高束流模式。大工作距离模式,磁性样品模式等多种工作模式。采用电子束减速功能,提高了图象质量。采用新型E×B式探测器,可选择接受二次电子像或背散射像。
扫描电镜配有牛津公司X-MAX20能谱仪,可以进行定点元素成分定性和无标样定量分析,并进行元素线扫描、面分布的分析。