电子放大倍数:160-200000X;光学放大倍数:3-16X;分辨率:<10nm;真空水平:低-中-高;样品尺寸:最大:100×100mm;最大直径40mm;样品加载时间:进样至测试时间<60s;
检测器:背散射电子检测器(BSD);二次电子检测器(SED);能谱检测器(EDS);
原位拉伸台:最大静/动态试验力:1500N;最大位移行程:10mm;频率:0.5Hz