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仪器详情
表面轮廓仪
仪器编号
2011994176
规格
生产厂家
美国KLA公司
型号
D100
制造国家
美国
分类号
03060306
放置地点
卫津路校区26C-401 401室
出厂日期
2011-08-01
购置日期
2011-11-14
入网日期
2011-11-28
主要规格及技术指标
扫描长度范围30mm 加力控制0.03-10ng
主要功能及特色
1、表面结构 2、精确台阶高度
3、表面形态 4、薄膜应力
主要附件及配置
电脑、探针
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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