1、温度范围:4K-350K;2、真空度:大于10-5帕斯卡;3、电学源表:美国泰克科技4200A;4、探针台:6英寸卡盘,采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品,均独立控制,中心吸附孔最小可以选择250
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