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仪器详情
极高分辨场发射扫描电镜
仪器编号
22GS000212
规格
生产厂家
日立
型号
Hitachi SU8600
制造国家
分类号
放置地点
58楼ACE区地下一层 B122
出厂日期
2024-05-06
购置日期
2024-05-06
入网日期
2024-05-06
主要规格及技术指标
1.二次电子像分辨率：0.6 nm@15 kV，0.7 nm@1 kV；
2.加速电压：0.5 kV-30 kV；
3.放大倍数：20倍-200万倍；
4.电子枪：冷场发射电子源。
主要功能及特色
1.可拍摄高分辨二次电子形貌像，是目前世界上分辨率最高的扫描电镜，分辨率可达0.6 nm；
2.可拍摄包含成分信息的背散射电子像，配备UD ExB能量过滤器，SE/BSE信号可按比例混合成像；
3.配备高速能谱仪，可对样品进行点、线或面的元素与含量分析，能谱探头面积为100 mm2，极大缩短能谱采集时间，在5 min之内即可获得高质量的元素分布图像；
4.可在低电压下高放大倍数观察不导电样品；
5.可在超低电压下观察对电子束敏感的易损伤样品。
主要附件及配置
1. UD ExB能量过滤器
2.100 mm2探头的高速能谱仪
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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