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可调三靶超高真空磁控溅射仪

可调三靶超高真空磁控溅射仪

仪器编号

20049040

规格

生产厂家

中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司

型号

KPS450

制造国家

中国

分类号

放置地点

卫津路校区32-244 208

出厂日期

2011-11-21

购置日期

2011-11-21

入网日期

2011-11-21

主要规格及技术指标

系统真空7.0*10^-6Pa

主要功能及特色

金属、氧化物薄膜制备

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期