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超高真空对靶磁控溅射镀膜机
超高真空对靶磁控溅射镀膜机
仪器编号
20046099
规格
生产厂家
中国科学院沈阳科学仪器研制中心
型号
DPS-Ⅲ
制造国家
中国
分类号
放置地点
卫津路校区32-224 208
出厂日期
2011-11-21
购置日期
2011-11-21
入网日期
2011-11-21

主要规格及技术指标

8*10^-6PA

主要功能及特色

制备氧化物、金属等样品

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期