主要规格及技术指标

1.二次电子像（SE）分辨率：
（1）高真空模式：30 kV时优于1.0 nm，1 kV时优于3.0 nm；
（2）低真空模式：30 kV时优于1.3 nm，3 kV时优于3.0 nm；
（3）环境真空（ESEM）模式：30 kV时优于1.3 nm；
2.背散射电子像（BSE）分辨率：30 kV时优于2.5 nm；
3.加速电压：0.2 kV-30 kV；
4.放大倍数：6倍-250万倍；
5.电子枪：Schottky肖特基场发射电子枪，束流范围1 pA-200 nA。

主要功能及特色

一、功能
1.可拍摄样品表面形貌的高分辨二次电子像；
2.可拍摄具有成分信息的背散射电子像；
3.配备能谱附件，可对样品进行点、线或面的元素与含量分析；
4.可对部分超薄样品进行透射电子观察，从而分析样品的内部结构信息；
5.配备1400℃加热样品台，可实现样品加热实验，在室温到1400℃范围内观察样品；
6.配备冷冻样品台，可实现样品低温实验，在-20℃到50℃范围内观察样品；
7.加热样品和冷冻样品台配合样品仓通气，可实现样品原位变温气氛观察分析；
8.配备荧光探头，可对发光样品进行发光位置和波长分析。
二、特色
1.具有三种真空模式（高真空、低真空、ESEM），可灵活适应各种样品，包括易放气或在高真空环境下不稳定的样品；
2.低真空和ESEM环境扫描电镜功能可对非导电和/或含水样品进行无电荷/无脱水成像和分析；
3.配备65 mm2探头的高速能谱仪。

主要附件及配置

1.1400℃加热样品台
2.冷冻样品台
3.可伸缩定向背散射电子探测器
4.可伸缩扫描透射电子探测器
5.可伸缩阴极荧光探测器
6.65 mm2探头的高速能谱仪