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仪器详情
干法精细释放设备
仪器编号
2024000838
规格
生产厂家
KLA
型号
Primaxx uEtch
制造国家
美国
分类号
03060304
放置地点
卫津路校区
出厂日期
2024-03-04
购置日期
2024-03-04
入网日期
2024-03-04
主要规格及技术指标
1.热氧化二氧化硅刻蚀速率大于0.2um/min，未退火TEOS二氧化硅可达1um/min；2.氧化硅刻蚀速率片内不均匀性＜5%，片与片之间的不均匀性＜5%；3.氧化硅对氮化硅选择比大于20：1
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
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