仪器列表
低真空镀膜仪
低真空镀膜仪
仪器编号
2012007615
规格
生产厂家
型号
Leica EM ACE200
制造国家
分类号
放置地点
北洋园校区31-113
出厂日期
2023-12-13
购置日期
2023-12-13
入网日期
2023-12-13

主要规格及技术指标

溅射电流 0-100mA。溅射速率 ~90nm/min (金靶,工作距离40mm,Ar氛围 溅射时间 1-999秒

主要功能及特色

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期