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仪器详情
金属薄膜特种溅射仪
仪器编号
2023033648
规格
生产厂家
型号
Mo Chamber
制造国家
分类号
放置地点
卫津路校区第一阶梯教室(东)
出厂日期
2023-12-11
购置日期
2023-12-11
入网日期
2023-12-11
主要规格及技术指标
1.*沉积速率：>200nm/min;2.*电阻系数：<10 u ohm cm;3.*同一硅片上的厚度不均匀性：<=1.5% (1Sigma);4.*硅片间的厚不均匀性：<=1.2% (1Sigma)
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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