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仪器详情
VHF刻蚀/干法精细释放设备
仪器编号
2023000140
规格
生产厂家
型号
制造国家
分类号
放置地点
出厂日期
2023-11-16
购置日期
2023-11-16
入网日期
2023-11-16
主要规格及技术指标
1、 刻蚀材料：二氧化硅(2000~10000埃)2、 刻蚀厚度：0~1000埃3、 高低功率程序4、低功率参数如下：1）刻蚀容差 ±1.0% 目标值; 2）片内刻蚀厚度均匀性
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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