1、高分辨率三轴压电陶瓷扫描器,XY扫描范围≥20um*20um,Z扫描范围≥2um;XY扫描分辨率≤50pm,Z扫描分辨率≤10pm;电流检测灵敏度≤10pA,力检测灵敏度≤5pN;Z向噪音水平RM
无