.png){kind=icon}
仪器列表
仪器设备 >
理学院 >
仪器详情
激光直写光刻机
仪器编号
2022009182
规格
生产厂家
型号
DaLI
制造国家
分类号
放置地点
北洋园49楼129
出厂日期
2023-04-18
购置日期
2023-04-18
入网日期
2023-04-18
主要规格及技术指标
1. 最小线宽：1微米2. 最小线条间距：不大于 500 nm3. 最大样品尺寸：不小于10×10 cm2（4英寸）4. 套刻对准精度：500 nm 或更优5. 可以自动聚焦
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
版权所有 © 天津大学 访问量: 10717222 系统开发商: 天津市基理科技股份有限公司