此仪器应该可以对样品表面进行三维形貌扫描,可以对不同种类的材料进行原位纳米力学、电磁学测试。测试精度可以到0.03 nm。具有可升级性和功能拓展性。扫描器:提供120微米大范围和10微米高精度扫描器。
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