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磁控溅射镀膜机
仪器编号
2021002597
规格
定制
生产厂家
北京五洲东方科技发展有限公司
型号
定制
制造国家
中国
分类号
120302
放置地点
前沿院武清开发区北欧产业园1号3号楼1楼109室
出厂日期
2022-07-12
购置日期
2022-07-12
入网日期
2022-07-12
主要规格及技术指标
主要技术指标：1.样品加热台稳定可达300℃ 2.膜厚监测仪的分辨率为0.1nm 3.在4英寸范围内的不均匀性低于5% 4.膜厚精确可控
主要功能及特色
支持直流磁控溅射和射频磁控溅射，可用于制备金属薄膜和绝缘薄膜
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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