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仪器详情
等离子溅射台
仪器编号
2021002595
规格
Ministar-3C
生产厂家
TOP TECHNOLOGY LTD
型号
Ministar-3C
制造国家
韩国
分类号
120403
放置地点
卫津路校区第一阶梯教室(东)东阶实验室二层
出厂日期
2022-07-12
购置日期
2022-07-12
入网日期
2022-07-12
主要规格及技术指标
？ 成膜材料：二氧化硅，氮化硅？ 厚度范围：0~20000埃？ 片内刻蚀厚度均匀性：1_Sigma ≤ 5%, ？ 片间刻蚀厚度均匀性：1_Sigma ≤ 5 %, ？ 刻蚀材料：二氧化硅，氮
主要功能及特色
SiO2沉积
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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