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仪器详情
化学机械抛光机
仪器编号
2021002596
规格
IPEC472
生产厂家
美国诺发
型号
IPEC472
制造国家
美国
分类号
120401
放置地点
卫津路校区第一阶梯教室(东)东阶
出厂日期
2022-07-12
购置日期
2022-07-12
入网日期
2022-07-12
主要规格及技术指标
IPEC472 Sio2 remove rate （A/min-1）2500~3500 Thickness non-uniformity within wafer (%1Σ）？ 3% removea
主要功能及特色
化学研磨抛光
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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