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仪器详情
光刻机
仪器编号
2021002598
规格
MA6/MB6
生产厂家
suss
型号
MA6/MB6
制造国家
德国
分类号
120302
放置地点
卫津路校区第一阶梯教室(东)精仪学院MEMS实验室一层
出厂日期
2022-07-12
购置日期
2022-07-12
入网日期
2022-07-12
主要规格及技术指标
晶片尺寸4英寸分辨率0.7um（真空模式） 淘客精度0.5um 光源波长：365nm 光强均匀性：≤2.0% 曝光模式：VAC HARD SOFT SUSS
主要功能及特色
光刻图形转换
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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