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仪器详情
MEMS异质集成加工设备
仪器编号
2021023155
规格
ACCμRAM
生产厂家
SET（Smart equipment technologie）
型号
ACCμRAM
制造国家
法国
分类号
120304
放置地点
卫津路校区第一阶梯教室(东)东阶梯二楼
出厂日期
2022-07-12
购置日期
2022-07-12
入网日期
2022-07-12
主要规格及技术指标
基于Windows的软硬件系统和触摸显示屏，Post-bond精度：±3μmXY对准平台：大小：50×50mm，可移动范围：350×105mm，手动控制Z轴垂直移动式，范围：74mm，精度：10n
主要功能及特色
MEMS器件基础研究
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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