采用力曲线的峰值力作反馈,可精确控制针尖与样品之间的相互作用力小至50pN,减少针尖磨损与污染。三个扫描轴上都带有独立的闭环传感器,XY嗓音≤150pm,Z轴噪音≤30pm RMS。同时采集≥25个通
MEMS器件基础研究
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