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离子束切割抛光仪
离子束切割抛光仪
仪器编号
2022000079
规格
生产厂家
Fischione Instruments, Inc
型号
Model 1061 SEM Mill
制造国家
美国
分类号
放置地点
北洋园校区第31教学楼北洋园材料学院教学与大型仪器实验中心1107
出厂日期
2019-01-04
购置日期
2020-01-04
入网日期
2022-01-04

主要规格及技术指标

1. 离子源 独立可调节的电磁聚焦氩离子源,在整个加速电压范围(100 eV 到 10 keV)内。2. 束斑尺寸可调节,束流密度高达 10 mA/cm2,可选择单个或者两个离子源工作3. 入射角

主要功能及特色

1. 两支独立可调电磁聚焦离子枪。同时具备高能量(快速抛光)和低能量(精细修复);
2. 超宽加速电压范围:100eV到10kV,不同加速电压下,离子束束斑均保持最细最优束斑状态;
3. 每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测,可以精确优化并控制束斑尺寸大小,实现离子束斑直径300 µm ~ 5 mm连续可调,为特殊试验需求提供试验条件;
4. 自动独立气源控制;
5. 抛光角度范围:0°到 +10°连续可调;
6. 具备原位实时观察及记录减薄过程功能;
7. 截面切割+大尺寸平面抛光两种功能,样品可360°连续旋转或摇摆,离子束自动避让样品夹;
8. 液氮冷台传导制冷方式,带内置杜瓦瓶和自动温度连锁控制,杜瓦瓶设计更接近操作者,方便工作。在室温和液氮温度之间,可以选择保持任意温度恒定;
9. 可通过时间或温度自动停止;
10. 采用可调节10英寸触屏控制系统,人机界面友好,操作简洁。

主要附件及配置

超大冷台

公告名称 公告内容 发布日期