主要规格及技术指标

1. 离子源 独立可调节的电磁聚焦氩离子源，在整个加速电压范围(100 eV 到 10 keV)内。2. 束斑尺寸可调节，束流密度高达 10 mA/cm2，可选择单个或者两个离子源工作3. 入射角

主要功能及特色

1. 两支独立可调电磁聚焦离子枪。同时具备高能量(快速抛光)和低能量(精细修复)；
2. 超宽加速电压范围：100eV到10kV，不同加速电压下，离子束束斑均保持最细最优束斑状态；
3. 每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测，可以精确优化并控制束斑尺寸大小，实现离子束斑直径300 µm ~ 5 mm连续可调，为特殊试验需求提供试验条件；
4. 自动独立气源控制；
5. 抛光角度范围：0°到 +10°连续可调；
6. 具备原位实时观察及记录减薄过程功能；
7. 截面切割+大尺寸平面抛光两种功能，样品可360°连续旋转或摇摆，离子束自动避让样品夹；
8. 液氮冷台传导制冷方式，带内置杜瓦瓶和自动温度连锁控制，杜瓦瓶设计更接近操作者，方便工作。在室温和液氮温度之间，可以选择保持任意温度恒定；
9. 可通过时间或温度自动停止；
10. 采用可调节10英寸触屏控制系统，人机界面友好，操作简洁。

主要附件及配置

超大冷台