1.超高真空系统包括STM观察室、样品制备室(含离子溅射、高温退火和蒸发装置)、快速进样室、探针/样品传输机制及泵组、真空测量、烘烤设施。STM观察室和样品制备室的真空度优于 5X10-10 mbar
无