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磁控溅射镀膜仪
仪器编号
2026001209
规格
生产厂家
北京中科创仪技术发展有限公司
型号
SC200
制造国家
中国
分类号
放置地点
北洋园校区54楼104
出厂日期
2025-01-15
购置日期
2026-01-16
入网日期
2021-11-16
主要规格及技术指标
外形尺寸:400(L)×330(W)×330(D) mm;可用靶材: Au、Pt、Cu、Ag、Pd等; 靶材尺寸: Φ50mm，厚度0.1-2mm; 工作电流: 1-50mA可调; 镀膜时间: 1-9999s可调; 真空泵: 旋片式真空泵; 真空泵抽速:1.1L/s; 真空室: φ130×100mm高硅硼玻璃; 工作介质: 氩气或氮气（空气）; 极限真空: ≤0.1Pa;工作真空: 1-20Pa可调; 样品台:Φ80mm，可放置14个标准样品座，与靶材距离20-45mm可调节
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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