震动稳定性:<5nm(峰峰值之间) 样品移动:可集成高精度位移器 样品环境:真空 样品空间:Φ53mm ×63mm 自动控制:智能软件系统,自动控制升降温、抽真空、充气 光学窗口:5个光学窗口
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