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金属蒸发溅射仪
金属蒸发溅射仪
仪器编号
2012002377
规格
生产厂家
Kiug Tech SeuiConeLcutor tquipinvent Sev
型号
CHA600
制造国家
美国
分类号
放置地点
卫津路校区东阶梯MEMS实验室
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05

主要规格及技术指标

蒸发速度50nm/min 电阻率〈3e-6ohmXcm 片内均匀性1sigma 3.0% 应力〈150Mpa

主要功能及特色

微机电器件制备与研究

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期