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仪器详情
氧化铝薄膜溅射仪
仪器编号
2012003417
规格
生产厂家
AviIa FechnLogy Inc
型号
Sigmafxp
制造国家
美国
分类号
放置地点
卫津路校区东阶MEMS实验室
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
硅片不均匀性〉60 薄膜应力50+50CT 硅片不均匀性〈0.5
主要功能及特色
微机电器件制备与研究
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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