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仪器详情
扫描电子显微镜
仪器编号
2013007308
规格
生产厂家
FEI/Raith
型号
ZNSPECTF50
制造国家
美国
分类号
放置地点
卫津路校区东阶梯实验室
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
1.分辨率：二次电子（SE）像高真空模式：30kv时1.0nm;1kv时3.0nm2.加速电压：0.2kv--30kv3.放大倍数：14倍--100万倍4.电子枪：高分辨率Schot
主要功能及特色
MEMS器件基础研究
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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