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仪器详情
无掩膜曝光机
仪器编号
2013008091
规格
生产厂家
IMP公司
型号
SF-100 XPRESS
制造国家
美国
分类号
放置地点
卫津路校区14楼实验室
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
最小像素：0.25微米，最小线宽：1微米，最大标准样品尺寸：100mmX100mmX25mm，像素尺寸：1.25像素（4X），0.25像素（10X），0.25像素（
主要功能及特色
刻蚀燃料电池流场
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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