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仪器详情
聚焦离子束显微镜
仪器编号
2014009078
规格
生产厂家
Carl Zeiss(Shanghai)
型号
2014OSTC-DXC086
制造国家
德国
分类号
放置地点
卫津路校区26C603
出厂日期
2021-10-21
购置日期
2021-10-21
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
1、电子束能量：约1千电子伏(1 keV)到30千电子伏(30 keV)2、电子束束电流：约10皮安(10 pA)到20纳安(20 nA)3、电镜分辨率：工作在30千电子伏的时候，小于2纳米
主要功能及特色
一部分功能主要是观察样品形貌，组分，另一部分功能是利用聚焦离子束对样品进行加工
主要附件及配置
无
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