测量口径:4英寸调整架自由度:五轴;相机分辨率:1024x1024;测量系统峰-谷值(PV)的重复性优于 l/300 波长, PV;测量系统均方根值(RMS)的重复性优于 l/100
该设备用于制造及检测领域,可实现光学器件/系统面形/波前测量及评价
无