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OTFT器件制备系统
仪器编号
2015009448
规格
生产厂家
Angstrom Engineering Inc.
型号
NEXDEP
制造国家
美国
分类号
放置地点
北洋园校区第53教学楼53-412
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
工作电源电压AC 380 V ± 10 %蒸镀室能达到的极限真空低于8×10-5 Pa蒸发源数量：2个有机热蒸发源（控温可达1500 oC），控温精度要求达到±2 oC以内等
主要功能及特色
有机薄膜晶体管器件的制备
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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