控温范围:10K-350K,控温稳定性优于±100mK;4通道直流探针臂,探针对样品的温度影响小于0.5K;探针臂X方向可移动距离不小于50mm,Y方向可移动距离不小于25mm,Z方向可移动距离不小于18mm;
为测试器件电学特性提供低温环境
无