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超高真空磁控与离子束溅射联合镀膜系统
仪器编号
2016014669
规格
生产厂家
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
型号
FJL560
制造国家
中国
分类号
放置地点
北洋园校区第31教学楼31-294
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
包含有3个互相连接的独立真空腔体，分别用于进样、磁控溅射薄膜生长、以及离子束溅射薄膜生长。样品可以在真空环境下在3个腔体之间自由传送。
主要功能及特色
超高真空镀膜
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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